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    RLS系列射頻發生器

    • 采用全數字控制,具有便捷和豐富的操作菜單
    • 進線具有APFC模塊,提高輸入側功率因數,降低諧波
    • 具備CEX相位同步功能
    • 3個可編程模擬量輸出

    RLS系列射頻發生器

    適用領域

    光伏產業、平板顯示器行業、半導體行業、化工業、實驗室、科研、制造業等。

    適用工藝

    等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴散、等離子體聚合濺射、反應濺射等。

    產品特點:

    l  機架式安裝方式

    l  采用全數字控制,具有便捷和豐富的操作菜單

    l  進線具有APFC模塊,提高輸入側功率因數,降低諧波

    l  穩定可靠的功放和直流控制模塊

    l  駐波1.5時仍能輸出額定功率

    l  具有多種通訊接口可選,通過通訊接口,可完全對電源進行操作

    l  高亮LCD顯示,操作直觀

    l  具備CEX相位同步功能

    l  3個可編程模擬量輸出

    l完善保護功能

          


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